පිරිවිතර | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20(වායු දරණ දුම්රිය) |
මෝටර් වර්ගය | තෙකලා යකඩ රහිත මෝටරය | Voice coil motor+ |
විභේදනය | පෙරනිමි 100nm ඩිජිටල් ප්රමාණය | 1vpp සිට 5nm දක්වා |
මෝටර් තෙරපුම | අඛණ්ඩ 60N/උච්ච 210N | අඛණ්ඩ 60N/උච්ච 210N |
අවම පියවර ප්රමාණය[nm] | 200nm | 100nm |
ගමන් [මි.මී.] | 200×200 | 10 |
පුනරාවර්තන හැකියාව [um] | ± 0.3 | |
ස්ථාන නිරවද්යතාවය [um] | ± 1 | ± 0.5 |
පැතලි බව [උම්] | 10um | 5 උ |
සෘජු බව [උම්] | 1 උ | 1 උ |
උපරිම වේගය [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
පැටවීමේ ධාරිතාව [kg] | 5kg (වායු නියත බල ශේෂ බර සහිත Z අක්ෂය) |